ICP使用过程中熄火的故障排除

①排风系统排风不畅或不连续，等离子矩区域的热量无法及时排出，影响等子炬的稳定。因排风故障造成的熄火一般在仪器连续使用30min后才会出现。
②炬管的安装位置对于等离子炬的稳定至关重要，但其对仪器的启动影响更大，会造成等离子炬无法正常点火或点火后无法持久等现象。
③功率、雾化气、冷却气等操作参数对等离子体炬的稳定都有一定影响。
④炬管外围的铜线圈外壁结垢、管内部结垢、循环系统渗漏及管道过滤器塞等原因导致循环水量不足以及风冷效果不佳（与室内温度有直接关系）均会影响循环水冷却的效果。
⑤大功率管老化，运行不稳定。
⑥气源压力过低而导致的自动保护，或者载气（氩气）纯度不够，仪器等离子炬不稳定。
⑦检查循环水冷器是否正常工作，如可能由于冷却水温度过高。
⑧其它的人为操作问题，如触动联锁控制点（开关等），造成熄火。
⑨是否高频发生器发生故障。

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