ICP等离子体的形成及工作原理

等离子体是指含有一定浓度阴离子、阳离子、自由电子、中性原子与分子在总体上呈中性能导电的气体混合物。等离子体作为一种光源是20世纪60年代发展起来的一类新型发射光谱分析用光源。通常用氩等离子体进行发射光谱分析，虽然也会存在少量试样产生的阳离子，但是氩离子和电子是主要导电物质。在等离子形成的氩离子能够从外光源吸收足够的能量，并将温度维持在一定的水平，使进一离子化，一般温度可达10000K。目前，高温等离子体主要有三种：电感耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)；  直流等离子体(direct current plas-rna, DCP)；微波诱导等离子体．(microwave induced plasma,MIP)。其中尤以甩感耦合等离子体光源应用最广。

电感耦合高频等离子体的工作原理为：当有高频电流通过ICP装置中线圈时，生轴向磁场，这时若用高频点火装置产生火花，形成的载流子（离子与电子）在磁场作用下，与原子碰撞并使之电离，形成更多的载流子，当载流子多到足以使体（如氩气）有足够的导电率时，在垂直于磁场方向的截面上就会感生出流经闭合圆形路径的涡流，强大的电流产生高热又将气体加热，瞬间使气体形成最高温度达10000K的稳定的等离子炬。感应线圈将能量耦合给等离子体，并维持等离子炬。