ICP等离子体光源系统

早期的原子发射光谱仪采用电弧和电火花光源，然而，随着等离子体光源的问世使其成为目前原子发射光谱仪最广泛使用的激发光源。其中以电感耦合等离子体光源应用最为广泛。电感耦合等离子体是一种原子或子大部分已电离的气体。它是电的良导体，因其中的正、负电荷密度几乎相等，以从整体来看它是电中性的。ICP等离子体温度可高达5000～10000K。ICP等离子体光源系统由RF高频发生器、等离子炬管、气路系统等组成。

高频发生器是ICP-AES的基础核心部件，它为等离子体提供能量，通过工作线圈给等离子体输送能量，并维持ICP光源稳定放电，要求其具有高度的稳定和不受外界电磁场干扰。根据等离子·体炬安装方向与光学系统观测方向的式不同，ICP-AES目前主要使用轴、径向、双向观测方式3种。

等离子炬管是ICP等离子体光源系统的重要部件，它是由三层同心石英管组成。外管通冷却气Ar的目的是使等离子体离开外层石英管内壁，以避免它烧毁石英管。采用切向进气，其目的是利用离心作用在炬管中心产生低气压通，以利于进样。中层石英管出口做成喇叭形，通人Ar气维持等离子体的作用，有时也可以不通Ar气。内层石英管内径约为1～2mm，载气式样气溶胶由内管注入等离子体内。试样气溶胶由气动雾化器或超声雾化器产生。当载气将试样气溶胶通过等离子体时，被后者加热至6000～7000K，样品中喲待测质很快被蒸发，分解，产生大量的气态原子，气态原子还可进一步吸收能量晝激发至激发态，而产生原子发射光谱。

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